![](https://arim.imr.tohoku.ac.jp/wp-content/uploads/2022/06/PIPS2.jpg)
TU-510 / 511
イオンミリング装置
Gatan PIPSⅡ
ArイオンミリングによるTEM試料の作製
イオンエネルギー:0.1keV ~8keV
バルク試料からのTEM試料作製
低エネルギー精密加工
![](https://arim.imr.tohoku.ac.jp/wp-content/uploads/2022/06/Model1010.jpg)
TU-512
イオンミリング装置
Fischione Model 1010
ArイオンミリングによるTEM試料の作製
イオンエネルギー: 0.5keV ~6 keV
バルク試料からのTEM試料作製
![](https://arim.imr.tohoku.ac.jp/wp-content/uploads/2022/06/gentlemill.jpg)
TU-519
ジェントルミリング装置
Gentle Mill Model IV 5
低電圧ArイオンビームによるTEM試料の仕上げ加工
イオンエネルギー:0.1kev~2keV
FIBにて作製したTEM試料の低電圧仕上げ
FIBダメージの除去
![](https://arim.imr.tohoku.ac.jp/wp-content/uploads/2022/12/TU-518-EM-09100IS.jpg)
TU-518
イオンスライサー
JEOL EM-09100IS
ArイオンビームによるTEM用断面薄片試料の作製
イオン加速電圧:1kV〜8kV
![](https://arim.imr.tohoku.ac.jp/wp-content/uploads/2022/12/ULTRACUT-S-1024x795.jpg)
TU-513
ウルトラミクロトーム
Leica REICHERT Ultracut S
![](https://arim.imr.tohoku.ac.jp/wp-content/uploads/2022/12/TU-509-研磨装置.jpg)
TU-509
電顕試料用研磨機
JEOL handy lap HLA-2