TU-510 / 511

イオンミリング装置

Gatan PIPSⅡ

ArイオンミリングによるTEM試料の作製

イオンエネルギー：0.1keV ～8keV

バルク試料からのTEM試料作製

低エネルギー精密加工

TU-512

イオンミリング装置

Fischione Model 1010

ArイオンミリングによるTEM試料の作製

イオンエネルギー： 0.5keV ～6 keV

バルク試料からのTEM試料作製

TU-519

ジェントルミリング装置

Gentle Mill Model IV 5

低電圧ArイオンビームによるTEM試料の仕上げ加工

イオンエネルギー：0.1kev～2keV

FIBにて作製したTEM試料の低電圧仕上げ

FIBダメージの除去

TU-518

イオンスライサー

JEOL EM-09100IS

ArイオンビームによるTEM用断面薄片試料の作製

イオン加速電圧：1kV〜8kV

TU-513

ウルトラミクロトーム

Leica REICHERT Ultracut S

TU-509

電顕試料用研磨機

JEOL handy lap HLA-2