透過型電子顕微鏡
Transmission Electron Microscope
TU-504
JEOL JEM-ARM200F
加速電圧 80-200kV
冷陰極型電子銃
収差補正機能：照射系ならびに対物レンズ系
電子エネルギー損失分光分析
（EELS）
エネルギー分散型X線分析（EDS）
TU-502 / 503
FEI Company TitanG2 Cubed 60-300
Double Corrector / Probe Corrector
Field Emission 電子銃
収差補正機能
Double Corrector機：照射系ならびに対物レンズ系に搭載
Probe Corrector機：対物レンズ系に搭載
エネルギー分散型X線分析（EDS）
TU-501
FEI Company Titan 80-300
Field Emission 電子銃
収差補正機能：照射系に搭載
電子エネルギー損失分光分析
（EELS）
エネルギー分散型X線分析（EDS）
TU-520
JEM-2100Plus
LaB6電子銃
エネルギー分散型X線分析（EDS）
STEM BF/HAADF検出器
TU-516
Topcon EM-002B
LaB6電子銃
エネルギー分散型X線分析（EDS）
Tu-517
JEM-2000EXⅡ
LaB6電子銃
エネルギー分散型X線分析（EDS）
走査型電子顕微鏡
Scanning Electron Microscope
TU-505
Hitachi High-Tech SU8000
冷陰極型電子銃
加速電圧0.1kV～30kV
二次電子像 反射電子像 STEM像
エネルギー分散型X線分析（EDS）
最大試料サイズ 100mmφ
TU-506
Hitachi High-Tech S-5500
冷陰極型電子銃
加速電圧0.5kV～30kV
二次電子像 反射電子像 STEM像
最大試料サイズ 5.0mm×9.5mm×3.5mm(H)