Focused Ion Beam
![](https://arim.imr.tohoku.ac.jp/wp-content/uploads/2022/05/P4110173-1000x288-1.jpg)
![](https://arim.imr.tohoku.ac.jp/wp-content/uploads/2022/06/Versa.jpg)
TU-507
集束イオンビーム加工装置(FIB-SEM)
FEI Company Versa 3D
Feild Emission SEM / FIB (Dual-Beam FIB)
E-depo/ I-depo Pt,C
試料ピックアップ Easy Lift
3D Slice&View
エネルギー分散型X線分析(EDS)
反射電子検出器(BSE)
![](https://arim.imr.tohoku.ac.jp/wp-content/uploads/2022/06/Quanta.jpg)
TU-508
集束イオンビーム加工装置(FIB-SEM)
FEI Company Quanta 200i 3D
W filament SEM / FIB (Dual-Beam FIB)
E-depo/ I-depo W,C
試料ピックアップ Omni Probe