TU-507

集束イオンビーム加工装置（FIB-SEM）

FEI Company Versa 3D

Feild Emission SEM / FIB (Dual-Beam FIB)

E-depo/ I-depo Pt,C

試料ピックアップ　Easy Lift

3D Slice&View

エネルギー分散型X線分析（EDS）

反射電子検出器（BSE）

TU-508

集束イオンビーム加工装置（FIB-SEM）

FEI Company Quanta 200i 3D

W filament SEM / FIB (Dual-Beam FIB)

E-depo/ I-depo W,C

試料ピックアップ　Omni Probe