透過型電子顕微鏡
Transmission Electron Microscope


TU-504
JEOL JEM-ARM200F
加速電圧 80-200kV
冷陰極型電子銃
収差補正機能:照射系ならびに対物レンズ系
電子エネルギー損失分光分析
(EELS)
エネルギー分散型X線分析(EDS)

TU-502 / 503
FEI Company TitanG2 Cubed 60-300
Double Corrector / Probe Corrector
Field Emission 電子銃
収差補正機能
Double Corrector機:照射系ならびに対物レンズ系に搭載
Probe Corrector機:対物レンズ系に搭載
エネルギー分散型X線分析(EDS)

TU-520
JEM-2100Plus
LaB6電子銃
エネルギー分散型X線分析(EDS)
STEM BF/HAADF検出器

TU-516
Topcon EM-002B
LaB6電子銃
エネルギー分散型X線分析(EDS)

Tu-517
JEM-2000EXⅡ
LaB6電子銃
エネルギー分散型X線分析(EDS)
走査型透過電子顕微鏡
Scanning Transmission Electron Microscope

TU-522
JEOL JEM-ARM200F
加速電圧 200 KV/80 KV
球面収差補正装置(照射系)
EDS分析(検出器=100 mm2)
EELS分光器 エネルギー分解能 0.3 eV