電子顕微鏡

透過型電子顕微鏡

Transmission Electron Microscope

TU-504

JEOL JEM-ARM200F

加速電圧 80-200kV
冷陰極型電子銃
収差補正機能:照射系ならびに対物レンズ系

電子エネルギー損失分光分析
(EELS)

エネルギー分散型X線分析(EDS)

TU-502 / 503

FEI Company TitanG2 Cubed 60-300

Double Corrector / Probe Corrector

Field Emission 電子銃
収差補正機能

 Double Corrector機:照射系ならびに対物レンズ系に搭載

 Probe Corrector機:対物レンズ系に搭載

エネルギー分散型X線分析(EDS)

TU-520

JEM-2100Plus

LaB6電子銃

エネルギー分散型X線分析(EDS)

STEM BF/HAADF検出器

TU-516

Topcon EM-002B

LaB6電子銃

エネルギー分散型X線分析(EDS)

Tu-517

JEM-2000EXⅡ

LaB6電子銃

エネルギー分散型X線分析(EDS)

走査型透過電子顕微鏡

Scanning Transmission Electron Microscope

TU-522

JEOL JEM-ARM200F

加速電圧 200 KV/80 KV

球面収差補正装置(照射系)

EDS分析(検出器=100 mm2)

EELS分光器 エネルギー分解能 0.3 eV